Entwicklung von Mikrostrukturierungstechniken für HTSL Abschlußbericht zum Forschungsvorhaben 13 N 5818 ; Projektlaufzeit: 01.05.90 - 30.09.94

Gespeichert in:

Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Pilz, W. (BerichterstatterIn), Engler, K. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Berlin ISiT 1994
Schlagworte:	Forschungsbericht
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!

Beschreibung
Beschreibung:	35 Bl Ill., graph. Darst