Nasschemische Ätzung von Siliziumnitridschichten mit organischen Komplexbildnern

Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2024

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Kropp, Aron Igal (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Bergakademie Freiberg (Grad-verleihende Institution)
Weitere Verfasser:	Joseph, Yvonne (AkademischeR BetreuerIn), Kroke, Edwin (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Freiberg 2024
Schlagworte:	Hochschulschrift > Elektrochemisches Abtragen > Oberflächenchemie > Oberflächenanalyse > Nassätzen > Halbleiter
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Dissertation, Technische Universität Bergakademie Freiberg, 2024
Beschreibung:	Literaturverzeichnis Seite 97-105 Tag der Verleihung: 26. April 2024
Beschreibung:	iii, 105 Seiten Illustrationen, Diagramme