Proceedings of the Second International Symposium on Microstructures and Microfabricated Systems

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	International Symposium on Microstructures and Microfabricated Systems (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Denton, Denise (HerausgeberIn), Hesketh, Peter J. (BerichterstatterIn), Hughes, Henry G. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pennington, NJ Electrochemical Society c1995
Schriftenreihe:	Proceedings / Electrochemical Society Sensor, Electronics, and Dielectric Science and Technology Divisions 95,27
Schlagworte:	Microstructure > Congresses > Micrurgy > Konferenzschrift > Mikroelektronik > Mikrosystemtechnik
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