Combined Studies of Gratings by X-ray Reflectivity, GISAXS, and AFM

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Yan, M. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Bardeau, J. F. (VerfasserIn), Brotons, G. (VerfasserIn), Metzger, T. (VerfasserIn), Gibaud, A. (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2006
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