(Invited) High-Speed Plasma Etching of SiC Wafer Toward Backside Thinning

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Symposium "Gallium Nitride and Silicon Carbide Power Technologies" (Veranstaltung : 11. : 2021 : Online) Gallium Nitride and Silicon Carbide Power Technologies 11
1. Verfasser:	Sano, Y. (VerfasserIn)
Pages:	11
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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