Microelectronic device and multilevel interconnection technology ; 25-26 October 1995, Austin, Texas

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Society of Photo-optical Instrumentation Engineers (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Chen, Ih-Chin (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Bellingham, Wash. SPIE 1995
Schriftenreihe:	SPIE proceedings series 2636
Schlagworte:	Konferenzschrift
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