Piezoresistive Microcantilever-Tastsonde und Messsystem für die Kontakt-Resonanz-Profilometrie

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2024

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Fahrbach, Michael (VerfasserIn)
Körperschaft:	Technische Universität Braunschweig (Grad-verleihende Institution)
Weitere Verfasser:	Peiner, Erwin (AkademischeR BetreuerIn), Kowalsky, Wolfgang (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Braunschweig 2024
Schlagworte:	Hochschulschrift
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