TESTING APPROACHES FOR CHARACTERIZATION AND SELECTION OF MEMS INTERTIAL SENSORS

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Annual MEPTEC MEMS Technology Symposium (14. : 2016 : San Jose, Calif.) Advancing MEMS and sensors for today's exploding demands
1. Verfasser:	Smajlovic, D. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tkachev, R. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
Schlagworte:
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