Study of scandium nitride thin films deposited using ion beam sputtering

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	DAE Solid State Physics Symposium (64. : 2019 : Jodhpur) DAE Solid State Physics Symposium 2019 ; B
1. Verfasser:	Chowdhury, Susmita (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gupta, Rachana (VerfasserIn), Prakash, Shashi (VerfasserIn), Behera, Layanta (VerfasserIn), Phase, D. M. (VerfasserIn), Gupta, Mukul (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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