Evolution of nanocrystalline diamond thin films by high-density low-pressure CH4 plasma in planar inductively coupled plasma CVD

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	DAE Solid State Physics Symposium (64. : 2019 : Jodhpur) DAE Solid State Physics Symposium 2019 ; B
1. Verfasser:	Saha, Sucharita (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Das, Debajyoti (VerfasserIn)
Pages:	2019
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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