Impact of Oxygen on the Generation of Slip Lines and the Electronic Properties of Si-based Substrates

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Symposium "Semiconductor Process Integration" (13. : 2023 : Göteborg) Semiconductor Process Integration 13
1. Verfasser:	Abbadie, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Pribat, C. (VerfasserIn), Gredy, V. (VerfasserIn), Brouzet, V. (VerfasserIn), Sereix, E. (VerfasserIn)
Pages:	13
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2023
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