The Full Range of Magnetic Array Options for Planar Magnetrons - Too Much Choice?

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Monaghan, Dermot (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Bellido-Gonzalez, Victor (VerfasserIn), Brown, Robert (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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