The Full Range of Magnetic Array Options for Planar Magnetrons - Too Much Choice?

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser: Monaghan, Dermot (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Bellido-Gonzalez, Victor (VerfasserIn), Brown, Robert (VerfasserIn)
Pages:64
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2021
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Beschreibung
ISBN:9781878068415