The Role of Plasma Properties in Plasma Enhanced Atomic Layer Epitaxy

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Walton, S. G. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Boris, D. R. (VerfasserIn), Wheeler, V. D. (VerfasserIn), Nepal, N. (VerfasserIn), Rosenberg, S. G. (VerfasserIn), Avila, J. (VerfasserIn), Woodward, J. M. (VerfasserIn), Anderson, V. R. (VerfasserIn), Eddy, C. R. (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!