ALD-CAP® Encapsulation of Wafers, Devices, and Objects

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Dumont, Jamie (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Lewis, Drew (VerfasserIn), Martinez, Madison (VerfasserIn), Herbert-Walters, Meghan (VerfasserIn), Moulton, Staci (VerfasserIn), Higgs, Daniel (VerfasserIn), Hughes, Barbara (VerfasserIn), Dameron, Arrelaine (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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