Mechanisms of Thermal Atomic Layer Etching (ALE) of Nickel by Acetylacetone (acacH) Molecules

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (64. : 2021 : Online) 64th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Basher, Abdulrahman H. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Krstic, Marjan (VerfasserIn), Takeuchi, Takae (VerfasserIn), Ito, Tomoko (VerfasserIn), Kiuchi, Masato (VerfasserIn), Karahashi, Kazuhiro (VerfasserIn), Wenzel, Wolfgang (VerfasserIn), Hamaguchi, Satoshi (VerfasserIn)
Pages:	64
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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