Computer Simulation of Abnormal Glow Discharge in Inverse Magnetron Sputtering Systems with Sectioned Cathode Units

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Scientific and Technical Conference Integrated Computer Technologies in Mechanical Engineering - Synergetic Engineering (2021 : Charkiv) Integrated computer technologies in mechanical engineering - 2021
1. Verfasser:	Slusar, Denis (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Isakov, Oleksii (VerfasserIn), Kolesnyk, Volodymyr (VerfasserIn), Chugai, Oleg (VerfasserIn), Oliynick, Serhii (VerfasserIn)
Pages:	2021
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
Schlagworte:
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!