CLOSED-LOOP CONTROLLED ARCHITECTURE OF A MEMS CAPACITIVE ACCELEROMETER WITH SQUARE WAVE VOLTAGE SIGNAL EXCITATION

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Multidisciplinary Scientific GeoConference (20. : 2020 : Albena; Online) 20th International Multidisciplinary Scientific Geo-Conference (SGEM 2020) ; Issue 2, 2: Informatics, geoinformatics and remote sensing: Geodesy and mine surveying, photogrammetry and remote sensing, cartography and GIS
1. Verfasser:	Grigorie, Teodor Lucian (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Gresita, Irinel Constantin (VerfasserIn), Grigorie, Otilia (VerfasserIn)
Pages:	20
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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