High - Tempereture Oxidation Behavior of CVD Silicon Carbide and Silicon Nitride

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Chotai-Kankyosei-Senshin-Zairyo-Shinpojiumu (6 : 1995 : Tokio) 6. Chōtai Kankyōsei Senshin Zairyō Shinpojiumu kōenshū
1. Verfasser:	Goto, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Hirai, T. (VerfasserIn), Narushima, T. (VerfasserIn), Iguchi, Y. (VerfasserIn)
Pages:	6
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	1995
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Beschreibung
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