EXTREME SILICON THINNING FOR BACK SIDE POWER DELIVERY NETWORK APPLICATION: NEED FOR A HIGHLY SELECTIVE ALKALINE SILICON ETCH STOPPING ON SIGE ETCH STOP LAYER

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Surface Preparation and Cleaning Conference (2022 : Chandler, Ariz.) 2022 Surface Preparation and Cleaning Conference
1. Verfasser:	Sebaai, F. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Loo, R. (VerfasserIn), Jourdain, A. (VerfasserIn), Wostyn, K. (VerfasserIn), Byne, E. (VerfasserIn)
Pages:	2022
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2023
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