Indentation testing of silicon micropillars from cryogenic dry etching

Dissertation, Technische Universität Carolo-Wilhelmina zu Braunschweig, 2022

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Puranto, Prabowo (VerfasserIn)
Körperschaften:	Technische Universität Braunschweig (Grad-verleihende Institution), Verlag Dr. Hut (Verlag)
Weitere Verfasser:	Peiner, Erwin (AkademischeR BetreuerIn), Kowalsky, Wolfgang (AkademischeR BetreuerIn), Brand, Uwe (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	München Verlag Dr. Hut 2024
Ausgabe:	1. Auflage
Schriftenreihe:	Elektrotechnik
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltstext Unbekannt Inhaltsverzeichnis
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