IMECE2021-73849 Investigation of the Effect and Contribution of Process Parameters By Taguchi and ANOVA Analysis on the Morphological and Electrical Properties of RF Magnetron Sputtered SiO2 Over Si Substrate

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition (2021 : Online) Proceedings of ASME 2021 International Mechanical Engineering Congress and Exposition (IMECE 2021) ; Volume 3: Advanced materials: design, processing, characterization, and applications
1. Verfasser:	Uchayash, Sajid Mahfuz (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Biswas, Prosanto (VerfasserIn), Zulkarnain, Meah Imtiaz (VerfasserIn), Touhami, Ahmed (VerfasserIn), Islam, Nazmul (VerfasserIn), Huq, Hasina (VerfasserIn)
Pages:	2021
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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