Formation of Buried Electrode in Si Substrate by Reduction of Metal-Oxide

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Ishikawa, N. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Itoh, T. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1988
Schlagworte:
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Beschreibung
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