Effect of SF6 and C4F8 Flow Rate on Etched Surface Profile and Grass Formation in Deep Reactive Ion Etching Process

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Mechanical Engineering Congress and Exposition (2022 : Columbus, Ohio) Proceedings of ASME 2022 International Mechanical Engineering Congress and Exposition (IMECE2022) ; Volume 9: Mechanics of solids, structures, and fluids - micro- and nano-systems engineering and packaging - safety engineering, risk, and reliability analysis - research posters
1. Verfasser:	Sharma, Pallavi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Pleil, Matthias (VerfasserIn), Jackson, Nathan (VerfasserIn)
Pages:	2022
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
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