Optical properties of thin films formed by carbon deposition in methane plasma and subsequent annealing

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Mathematical Modeling (9. : 2020 : Jakutsk) 9th International Conference on Mathematical Modeling
1. Verfasser:	Neustroev, Efim P. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Prokopiev, Aisen R. (VerfasserIn), Popov, Vasiliy I. (VerfasserIn), Protopopov, Fedor F. (VerfasserIn), Semenov, Semen O. (VerfasserIn)
Pages:	9
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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