Special issue on advanced microfabrication processes for MEMS/NEMS
Gespeichert in:
| Weitere Verfasser: | |
|---|---|
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | eng |
| Veröffentlicht: |
Tokyo
Scientific Publishing Division of MYU
2023
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| Schriftenreihe: | Sensors and materials
volume 35, number 6(2) (2023) |
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|---|---|
| Beschreibung: | Seite [1927]-2011 Illustrationen, Diagramme |