Ein Beitrag zur modellgestützten Charakterisierung komplexer Halbleiter-Nanostrukturen mittels Weißlicht-Müller-Matrix-Fourier-Scatterometrie

Dissertation, Universität Stuttgart, 2023

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Gödecke, Maria Laura (VerfasserIn)
Körperschaften:	Universität Stuttgart (Grad-verleihende Institution), Universität Stuttgart Institut für Technische Optik (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Osten, Wolfgang (AkademischeR BetreuerIn), Czarske, Jürgen (AkademischeR BetreuerIn), Reichelt, Stephan (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart 2023
Schriftenreihe:	Berichte aus dem Institut für Technische Optik Nr. 120
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
Tags:	Tag hinzufügen Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!