Large Area lon Implantation Source for Production of Anti-Reflection Surfaces in Glass and Sapphire Substrates

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Society of Vacuum Coaters (65. : 2022 : Long Beach, Calif.) 65th Annual Technical Conference proceedings
1. Verfasser:	Welsh, Alexander (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Weiss, Robert (VerfasserIn), Brown, David (VerfasserIn), White, Nicholas (VerfasserIn)
Pages:	65
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
Schlagworte:
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