Mehrkomponenten-Targets zum Sputtern von AlCr (W, Ta, Si) N-Systemen

Mehrkomponenten-Targets zum Sputtern von AlCr (W, Ta, Si) N-Systemen

Dissertation, Technische Universität Dortmund, 2023

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Fehr, Alexander (VerfasserIn)
Körperschaft: Vulkan-Verlag GmbH (Verlag)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Essen Vulkan Verlag 2023
Schriftenreihe:Werkstofftechnologische Schriftenreihe Band 25
Schlagworte:
Hochschulschrift > Sputtern > PVD-Verfahren > Target > Mehrstoffsystem > Aluminiumnitrid > Chromnitrid
Online Zugang:Inhaltsverzeichnis
Tags: Tag hinzufügen
Keine Tags, Fügen Sie den ersten Tag hinzu!
Beschreibung
Zusammenfassung:Dissertation, Technische Universität Dortmund, 2023
Beschreibung:Literaturverzeichnis: Seite 237-263
Beschreibung:VIII, 264 Seiten
Illustrationen, Diagramme
21 cm
ISBN:9783802788321
978-3-8027-8832-1
380278832X
3-8027-8832-X