Metalldotierung amorpher Kohlenstoffschichten durch Plasmadecomposition (fester) organischer Metallverbindungen

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Reif, Andreas (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Schmalkalden u.a. Ges. für Fertigungstechnik u. Entwicklung e.V. 1993
Schriftenreihe:	Forschungsbericht Dünnschichttechnologien / Bundesministerium für Forschung und Technologie
Schlagworte:	Forschungsbericht
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