Elektronenstrahl-Direktschreiben für Submikrometer ASIC's [Schlußbericht, Abschlußdatum des Vorhabens: Oktober 1994]

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Irmscher, Mathias (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Leuschner, Rainer (VerfasserIn), Springer, Reinhard (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Stuttgart Inst. für Mikroelektronik 1995
Schlagworte:	Forschungsbericht
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