Interferometrisches Formprüfverfahren mit großem Meßbereich : Teilprojekt AP 2.2 im BMFT-Verbundprojekt Weiterführende Ansätze in der Interferometrie ; [Abschlußbericht]

Interferometrisches Formprüfverfahren mit großem Meßbereich Teilprojekt AP 2.2 im BMFT-Verbundprojekt Weiterführende Ansätze in der Interferometrie ; [Abschlußbericht]

Gespeichert in:
Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Pfeifer, Tilo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Tutsch, Rainer (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Aachen Fraunhofer-Inst. für Produktionstechnologie 1994
Schlagworte:
Forschungsbericht > Laserinterferometrie > Optische Fläche > Oberflächenprüfung
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