Interferometrisches Formprüfverfahren mit großem Meßbereich Teilprojekt AP 2.2 im BMFT-Verbundprojekt Weiterführende Ansätze in der Interferometrie ; [Abschlußbericht]

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Pfeifer, Tilo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Tutsch, Rainer (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	Aachen Fraunhofer-Inst. für Produktionstechnologie 1994
Schlagworte:	Forschungsbericht > Laserinterferometrie > Optische Fläche > Oberflächenprüfung
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