Low-dielectric constant materials - synthesis and applications in microelectronics symposium held April 17 - 19, 1995, San Francisco, California, U.S.A.

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Bibliographische Detailangaben
Körperschaft:	Symposium on Low Dielectric Thin Films for Microelectronics Applications (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Lu, Toh-ming (BerichterstatterIn), Lu, T.-M. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Pittsburgh, Pa. Materials Research Society 1995
Schriftenreihe:	Low dielectric constant materials [1]
Schlagworte:	Konferenzschrift
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