Untersuchungen zur Schichtdickenabhängigkeit von Beweglichkeit und Dotierung in epitaxialen Siliziumschichten auf Spinell und Saphir

Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 1976

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser: Bänziger, Urs-Peter (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:ger
Veröffentlicht: Zürich Juris Druck + Verl. 1977
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Beschreibung
Zusammenfassung:Zugl.: Zürich, Eidgenössische Techn. Hochsch., Diss., 1976
Beschreibung:92 S
Ill., graph. Darst
ISBN:3260042600