DETC2021-69831 A MEMS Tunable Capacitor With Dual Deformation Modes and High Tunability and Linearity

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Micro- and Nanosystems (15. : 2021 : Online) Proceedings of the ASME 2021 International Design Engineering Technical Conferences and Computers and Information in Engineering Conference (IDETC-CIE2021) ; volume 11: 15th International Conference on Micro- and Nanosystems (MNS)
1. Verfasser:	Shahi, Mahdi (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Shavezipur, Mohammad (VerfasserIn)
Pages:	2021
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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