RESONANT RF NETWORK ANTENNAS FOR INDUCTIVELY-COUPLED PLASMA SOURCES

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	EPS Conference on Plasma Physics (41. : 2014 : Berlin) 41st EPS Conference on Plasma Physics (EPS 2014) ; Part 2 of 3
1. Verfasser:	Howling, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Guittienne, P. (VerfasserIn), Hollenstein, C. (VerfasserIn), Furno, I. (VerfasserIn)
Pages:	41
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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Beschreibung
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