Development of a highly-miniaturized single-shot point distance sensor and a spectrometer free areal optical confocal metrology system

Dissertation, Universität Stuttgart, 2023

Bibliographische Detailangaben

1. Verfasser:	Prause, Korbinian (VerfasserIn)
Körperschaften:	Universität Stuttgart (Grad-verleihende Institution), Universität Stuttgart Institut für Technische Optik (Herausgebendes Organ)
Weitere Verfasser:	Herkommer, Alois (AkademischeR BetreuerIn), Layh, Michael (AkademischeR BetreuerIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	Stuttgart Institut für Technische Optik, Universität Stuttgart Juli 2023
Schriftenreihe:	Berichte aus dem Institut für Technische Optik Nr. 122
Schlagworte:	Hochschulschrift
Online Zugang:	Inhaltsverzeichnis
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