Development of sputter ion pump with strong magnetic field for obtaining of ultra-high vacuum

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	SFR (2020 : Nowosibirsk) Synchrotron and free electron laser radiation
1. Verfasser:	Semenov, A. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Anashin, V. (VerfasserIn), Krasnov, A. (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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