Preparation of Highly C-Axis Oriented ZnO Thin Films by Plasma-Enhanced Metalorganic Chemical Vapor Deposition

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:	Symposium on Ultrasonic Electronics (2 : 1981 : Tokio) Proceedings of the 2nd Symposium on Ultrasonic Electronics
1. Verfasser:	SHIMIZU, Masaru (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	YAMAMOTO, Takashi (VerfasserIn), SHIOSAKI, Tadashi (VerfasserIn), KAWABATA, Akira (VerfasserIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	1982
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Beschreibung
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