Aktiviruemye processy technologii mikroelektroniki sbornik naučnych trudov

Bibliographische Detailangaben

Körperschaft:	Moskovskij Gosudarstvennyj Institut Ėlektronnoj Techniki (BerichterstatterIn)
Weitere Verfasser:	Sorokin, I. N. (BerichterstatterIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	rus
Veröffentlicht:	Moskva 1994
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