Particle Generation and Thin Film Surface Morphology in Tetraethylorthosilicate/Oxygen Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition Process

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	Ēarozoru-Kagaku-Gijutsu-Kenkyū-Tōronkai (17 : 2000 : Higashihiroshima) 17.-Earozoru-kagaku-gijutsu-kenkyū-tōronkai
1. Verfasser:	Fujimoto, T. (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Fujishige, Y. (VerfasserIn), Okuyama, K. (VerfasserIn), Shimada, M. (VerfasserIn), Adachi, M. (VerfasserIn), Matsui, I. (VerfasserIn)
Pages:	17
Format:	UnknownFormat
Sprache:	jpn
Veröffentlicht:	2000
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