Analysis on the Lower Limit of Measurable Cavity Thickness Using Fourier-Transform Phase-Shifting Interferometry

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Nanomanufacturing (7. : 2021 : Xi'an) Proceedings of the 7th International Conference on Nanomanufacturing (nanoMan2021)
1. Verfasser:	Wang, Xu (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Xue, Shuai (VerfasserIn), Chen, Shanyong (VerfasserIn)
Pages:	7
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2022
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