Parametrische Untersuchungen und Entwicklung praktischer Simulationsmodelle für Excimer-Barrierenentladungen [Abschlußbericht, Abschlußdatum des Vorhabens: 31.12.93]
Gespeichert in:
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| Weitere Verfasser: | |
| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Heidelberg u.a.
1993
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| Schriftenreihe: | Plasmatechnische Untersuchung zur Realisierung einer inkohärenten Hochleistungs-UV-Strahlungsquelle
Teilprojekt B |
| Schlagworte: | |
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Tag hinzufügen | Beschreibung: | Förderkennzeichen BMFT 13 N 5990 |
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| Beschreibung: | Getr. Zählung Ill., graph. Darst |