MSEC2021-59847 Optimization of Ultra-High Aspect Ratio Nanostructures Fabricated Using Glancing Angle Deposition

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	ASME International Manufacturing Science and Engineering Conference (16. : 2021 : Online) Proceedings of the ASME 2021 16th International Manufacturing Science and Engineering Conference (MSEC2021) ; Volume 2: Manufacturing processes - manufacturing systems - nano/micro/meso manufacturing - quality and reliability
1. Verfasser:	Qu, Chuang (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Alphenaar, Bruce (VerfasserIn), McNamara, Shamus (VerfasserIn), Walsh, Kevin (VerfasserIn)
Pages:	2021 16
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2021
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