Dynamische Abscheidung von a-Si und TCO-Schichten für Hocheffizienz Si-Solarzellen als Schlüssel für hochproduktive Fertigung bei reduzierten Herstellkosten (DYNASTO); TU-Dresden/IHM Teilvorhaben: Dynamische PECVD für Hocheffizienz Si-Solarzellen - Grundlagenuntersuchung Abschlussbericht für den Zeitraum 01.01.2019-30.06.2022
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Dresden
Technische Universität Dresden, Institut für Halbleiter- und Mikrosystemtechnik
2022
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Beschreibung: | Förderkennzeichen BMWK 0324293D Verbundnummer 01183209 Unterschiede zwischen dem gedruckten Dokument und der elektronischen Ressource können nicht ausgeschlossen werden |
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Beschreibung: | 37 Seiten Illustrationen, Diagramme |