The effect of pressure for ashing process by using hollow cathode oxygen plasma

Bibliographische Detailangaben

Veröffentlicht in:	International Conference on Physical Instrumentation and Advanced Materials (2. : 2019 : Surabaya) The 2nd International Conference on Physical Instrumentation and Advanced Materials 2019
1. Verfasser:	Yunata, Ersyzario Edo (VerfasserIn)
Weitere Verfasser:	Yamauchi, Kazuhisa (VerfasserIn)
Pages:	2
Format:	UnknownFormat
Sprache:	eng
Veröffentlicht:	2020
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