Aerosol Transport Modeling for Evaporator of CVD Reactor

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Bibliographische Detailangaben
Veröffentlicht in:International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies (2021 : Sankt Petersburg) International Youth Conference on Electronics, Telecommunications and Information Technologies
1. Verfasser: Kleimanov, Roman (VerfasserIn)
Weitere Verfasser: Korshunov, Andrey (VerfasserIn), Komarevtsev, Ivan (VerfasserIn), Alexandrov, Sergey (VerfasserIn)
Format: UnknownFormat
Sprache:eng
Veröffentlicht: 2022
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Beschreibung
ISBN:9783030811181