Charakterisierung von Schichtsystemen mittels spektroskopischer Ellipsometrie im fernen Infrarot
Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. : 1994
Gespeichert in:
| 1. Verfasser: | |
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| Format: | UnknownFormat |
| Sprache: | ger |
| Veröffentlicht: |
Aachen
Verl. der Augustinus-Buchh.
1994
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| Ausgabe: | 1. Aufl. |
| Schriftenreihe: | Aachener Beiträge zur Physik der kondensierten Materie
13 |
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Tag hinzufügen | Zusammenfassung: | Zugl.: Aachen, Techn. Hochsch., Diss. : 1994 |
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| Beschreibung: | Literaturverz. S. [168] - 172 |
| Beschreibung: | 179 S graph. Darst 21 cm |
| ISBN: | 3860732722 3-86073-272-2 |