Plasmaprozesse und ihre Auswirkungen auf die CVD-Diamantabscheidung

Hamburg, Univ., FB Physik, Diss. : 1995

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Bibliographische Detailangaben
1. Verfasser:	Joeris, Pierre (VerfasserIn)
Format:	UnknownFormat
Sprache:	ger
Veröffentlicht:	1994
Schlagworte:	Hochschulschrift > Diamant > Dünne Schicht > PECVD-Verfahren > Phasendiagramm
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Beschreibung
Zusammenfassung:	Hamburg, Univ., FB Physik, Diss. : 1995
Beschreibung:	IV, 199 S Ill., graph. Darst